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產品詳情
  • 產品名稱:OPG550 光學等離子真空計

  • 產品型號:
  • 產品廠商:INFICON
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
INFICON AugentTM光學等離子體測量儀是一種緊湊的智能真空監測解決方案。AugentTM將兩種傳感器技術結合到一個緊湊的設備中,用于1 x 10-7 至 5 mbar 的氣體類型監測,并同時測量 1 x 10-7mbar 到大氣壓的總壓力。A...
詳情介紹:

INFICON AugentTM光學等離子體測量儀是一種緊湊的智能真空監測解決方案。AugentTM 將兩種傳感器技術結合到一個緊湊的設備中,用于 1 x 10-7 至 5 mbar 的氣體類型監測,并同時測量 1 x 10-7mbar 到大氣壓的總壓力。AugentTM由集成的皮拉尼傳感器保護,可關閉 20 mbar 以上的等離子體。快速光學測量原理原則上可以檢測任何類型的氣體。


好處 

1,高速泄漏檢測允許腔室泄漏測試

2, 提高生產率和產量 

3,使用壽命長,無燈絲**,氣涌保護 

4,承受工藝化學反應 

5,智能算法,易于集成 

6,設計緊湊,占地面積小 

7,可靠且快速的啟動 

典型應用

1,腔室泄漏檢查,更快的RoR(上升速率)測試 

2,泄漏檢查以查找供氣管線的內部泄漏 

3,實時終點控制 

4,氣體類型和濃度控制

杭公網安備 33010502004916號

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