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產品詳情
簡單介紹:
INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計,可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定的性能。**數字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設定點調整。
詳情介紹:
INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計,可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定的性能。**數字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設定點調整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優異的零位穩定性(包括氣壓突變的情況),預期使用壽命長達數百萬次壓力循環。獨有的傳感器屏蔽(磚利申請中)可防止儀表被過程污染。堅固的機械設計和數字電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩定性和溫度補償。CDG025D 為開機后快速穩定以及從氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。
好處
1,從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程
2,電源接通后快速穩定
3,暴露于大氣壓后快速恢復
4,防腐蝕陶瓷傳感器
5,超卓的長期信號穩定性
6,溫度補償
7,傳感器受雙重防污染保護
8,一鍵調零功能
9,寬范圍電源
10,2個設定點
11,RS232 接口
12,無塵室合規
典型應用
1,用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導體制造設備
2,數據存儲和顯示器制造設備
3,工業真空設備
4,經濟、高度精準的壓力測量